SiCウェハテーブル

相談内容

　「SiCで表面抵抗率が低い材料」「静電気対策や導電性が必要な構造部品に最適」「φ300の円盤をウェハ吸着テーブルに加工する」「平面度5μm、平行度10μm さらに 平面度3μm、平行度5μm」という4つの商品相談を受けました。

ヨコセラからの提案

　SiCセラミックは標準であれば、表面抵抗率が10^８～9ですが、静電気対策や導電性が必要な構造部品では表面抵抗率を10^7まで低く抑えたSiCセラミックが求められます。契約工場には表面抵抗率を低く抑えたセラミックを取り扱う。平面度5μm、平行度10μmの高精度な製品も製作可能です。ぜひご相談ください。