アルミナ

アルミナとは

アルミナは酸化アルミニウムを主成分とし、耐摩耗性、絶縁性に優れています。

比較的安価のため、幅広い用途に、ファインセラミックスの代表として使われています。

用途

• 半導体/FPD/液晶製造装置用部品
• 絶縁フランジ/碍子/スペーサ/ブッシュ
• 絶縁管/チューブ/熱電対用保護管、絶縁管
• 炉芯管/耐火炉材/高純度アルミナルツボ
• バーナー用ノズル
• シャフト/軸受/レール/ガイド/メカニカルシール
• ウェハポリッシングプレート
• ウェハハンドアーム/ウェハフォーク
• 静電チャック/真空チャック